探针是三坐标测量机的一部分，主要用来触测工件表面，使得测头的机械装置移位，产生信号触发并采集一个测量数据。一般的探针都是由一个杆和红宝石球组成。
上海三坐标测量机的探针有几个主要术语：
1：有效工作长度 (EWL)
2：杆直径
3：总长（指的是从探针后固定面到测尖中心的长度）
4：测针直径
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3.采用自定心测量法
用大于孔径1.5倍以上直径的测针在小孔口部中心测量自定心点，评价该自定心点的位置度即为小孔的位置度。自定心测量法适用于位置度或尺寸要求不高的短小孔的测量，如压铸件的通油孔，一般来说小孔位置度要求在0.5以上均可使用此简易测量法。手动测量机的软件也可储存和调用测量程序，从而加快了重复性测量。需注意在使用前应与前述两种方法进行测量结果比对，误差在可以接受的范围下才可使用此方法。
三坐标测量机如何校准
校验三坐标具体方法如下，确认测座装置方向与三次元坐标轴方向共同，假如拆卸了测座，要进行找正。测座固定牢靠，测头、测针的装置牢靠（装置应使用工具），宝石球清洁、无破损，加长杆装置长度与测头或吸盘的负载才能协调。
规范球与台面（或支撑）固定牢固，各衔接关节紧固。球体无损伤，外表清洁软件中三坐标测座、测头、加长杆、测针设置正确（测杆长度输入正确），测头使用方位界说正确（防止使用时发现缺项，宁多无少）。