首先，浸泡过的无绒软布清洁;第二部用酒精清洁;第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。
第四步用高压低水气的气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。
短路及密封性检查：靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查，建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后，可以进行检漏检查，将水通入阴极确定是否存在漏水现象。
磁控溅射原理：在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，溅射靶材在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。
在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。在众多高温防护涂层中，铂改性铝化物涂层因具有良好的抗高温氧化和抗热腐蚀综合性能而备受关注，是一种应用广泛、防护性能优异的高温防护涂层，或作为热障涂层（TBCs）系统的粘结层。
磁控溅射原理在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大。矿山就地冶炼多数采用传统的坩埚法熔炼，因生产工艺和处理物料性质不同，所产合质金的含金量也不一样，直接交售银行因含金量不高或含银不计价等原因，有的矿山为提高质量和经济效益采取了化学法除杂再次熔炼或电解法进行金银分离精炼。
沈阳东创材料有限公司是东北大学黄金学院科技产业集团有限公司下属的国有全资企业，始创于1973年，是国内行业的企业之一。公司主要经营稀回收、提纯、加工；金属靶材及零部件、纪念章、饰品加工；矿山工程设计，机械设备安装、调试；金属材料批发、零售；纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。自营和代理各类商品和技术的进出口。