氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。干燥后在管热管抽真空后，在的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。对漏点进行堵漏。
寻求一种合适的检漏方法，对汽轮机真空系统进行行之有效的检漏和堵漏工作，提高机组的真空严密性及真空已成为改善机组运行状况、节能降耗以及机组安全运行的一项重要工作。氦质谱检漏技术是一种 应用于国内外对真空容器检漏的先进技术，氦质谱检漏技术的高灵敏度和无损性早已成功地应用于航天、电子、制冷等领域。应用氦质谱检漏技术对火电厂汽轮机真空系统进行检漏的方法，近几年已在电力生产中逐渐推广应用。