测试步骤
根据空白版供应商推荐的显影时间建立显影工艺的初始Recipe,一般初始Recipe内容如下:
掩模版停在高位,冲洗显影喷嘴和蚀刻喷嘴(先喷药液5秒,然后喷水10秒)掩模版降至底部,转速设置100rpm,显影喷嘴喷水浸润掩模10秒。显影喷嘴切换到显影液,显影时间参考空白版供应商建议。完成显影后,显影喷嘴切换到水冲洗15秒。改用Top beam喷嘴冲水清洗掩模版,掩模版应上下移动以确保整个掩模版被冲洗干净。冲洗完成后,蚀刻喷嘴喷水冲洗10秒,然后切换到蚀刻液。蚀刻时间参考Etch to clea则试结果。完成蚀刻后,蚀刻喷嘴切换到水冲洗15秒。改用Top beam喷嘴冲洗掩模版。+完成冲洗后, 1000rpm旋转甩干。技术关键点:低温平行光源,波长根据油墨特性进行设备,目前光源是一大难点问题。
显影液的组成
显影过程是将感光材料浸泡在显影液中完成的。显影液是由四种主要成份组成:显影剂、促进剂、保护剂和。下面分别加以介绍。
显影剂
从化学的组分来看,显影剂可以分为无机化合物和有机化合物两大类。无机化合物可作为显影剂的并不少,但其中显影性能良好的却不多。以前制版用感光材料以湿片为主时,以草酸亚铁作为显影主剂,随着湿片的淘汰,当然现在也就不再使用了。目前,使用的都是有机显影剂。根据数据分析结果中Radio误差数据,调整显影工艺段Recipe,通过显影补偿手段使得Radio误差数据优。
曝光显影的概念:
曝光工艺是怎样?
将需要的图形根据油墨的感光特性制成掩膜板(光罩/Mask),掩膜板与喷墨后的玻璃紧密接触,通过曝光技术,使图形转印到玻璃之上,完成原有印刷之功能。技术关键点:低温平行光源,波长根据油墨特性进行设备,目前光源是一大难点问题。
显影工艺是怎样?
前工站加工的玻璃进入显影设备,对需要去除的油墨进行化学反应,进行剥离,然后进行表面清洗,形成的油墨3D盖板。显影操作需控制好显影液的温度、传送速度、喷淋压力等参数。