PDMS键合原理
等离子键合机，用于将聚二甲ji硅氧烷（PDMS）与自身或者其他材料（如玻璃、硅片）紧密粘合形成微通道。PDMS键合的工作原理是：在真空状态下，空气或者氧气被高频电源发生器激发电离，形成等离子体，清除PDMS表面的有机物，使其暴漏在高活性的氧自由基和高能氧离子的气氛中，PDMS表面的碳氢化合物与其反应，形成硅醇（SiOH）基团，增加了PDMS表面的亲水性和润湿性。将经过等离子体活化的PDMS与另外的PDMS或玻璃表面接触，在界面处，硅醇基团与其他表面上的硅醇基团或硅氧化物形成稳定且不可逆的Si-O-Si共价键，形成了密封且耐久的界面，完成PDMS的键合。
等离子键合机操作与使用
控制面板按键按钮说明
压力表盘：此处压力表显示的数值为真空度的比值，压力表的实际值大于设定值是显示红色，如果实际值没有达到设定值显示绿色，此时辉光不会开启！调低设定值小于实际值0.2-0.3，辉光就会开启。
气体流量计：手动慢慢调节旋钮使流量计中的刻度保持平衡，即可在下一次自动清洗过程中不需再做调整，通常流量计范围调节至30%-60%。
等离子键合机操作与使用
手动操作
1.人机界面开启后，选择“手动画面”进入手动操作。
2.进入手动画面，关闭腔门会自动亮起“OK”
3.选择“真空泵开”，抽气3-5分钟（抽出腔体里面的湿气），然后“清洗开启”；大约等待时间1-2分钟左右，开始放电，进行辉光放电测试。
4.测试完成后先关闭清洗然后再关闭真空泵，下一步选择“平衡阀开启”，大约20秒腔门会自动打开，进入自动状态前，点击下一页进入主界面。